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产品服务

离子束抛光离子源

RF01

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RF01

型号：MY-RF01

MY-RF01 射频离子源采用紧凑型/模块化设计，该系列 RF 离子源可以大范围移动，广泛适用于离子束抛光（IBF）、离子束修型（IBT）、表面清洗及反应性离子刻蚀（RIE）等工艺。设备兼容多种活性气体，可提供高稳定性的离子束流，为高标准的精密加工提供可靠支持。
RF40

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RF40

型号：MY-RF40

MY-RF40 射频离子源采用紧凑型/模块化设计，该系列 RF 离子源可以大范围移动，广泛适用于离子束抛光（IBF）、离子束修型（IBT）、表面清洗及反应性离子刻蚀（RIE）等工艺。设备兼容多种活性气体，可提供高稳定性的离子束流，为高标准的精密加工提供可靠支持。
RF80

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RF80

型号：MY-RF80

MY-RF80 射频离子源采用紧凑型/模块化设计，该系列 RF 离子源可以大范围移动，广泛适用于离子束抛光（IBF）、离子束修型（IBT）、表面清洗及反应性离子刻蚀（RIE）等工艺。设备兼容多种活性气体，可提供高稳定性的离子束流，为高标准的精密加工提供可靠支持。

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