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MY-RF160
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MY-RF160
型号:MY-RF160
辅助镀膜离子源凭借其高精度、可控性和环保性,已成为现代半导体工业不可替代的核心技术。MY-RF160等离子体源采用先进的磁耦合技术,离子束能量可连续调节。
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