关键技术指标

• 射频电源 ：50—150 W，频率13.56 MHz 
• 离子电流： ≤50mA（取决于栅网类型和运行条件）
• 离子能量： 600—1000 eV
• 加速电压： 0—1000伏
• 栅网类型：钼栅网/钛栅网/石墨栅网
• 栅网大小：38mm/20mm/10mm/8mm
• 放电腔：氧化铝陶瓷
• 中和方式：氧化钇灯丝中和（更低的工作温度，减轻钨蒸发污染）
• 工艺气体：惰性气体，氧气，氮气，含卤素气体等气体（石墨栅网不适用于除惰性气体之外的其它气体）
• 气体流量： 1—10 sccm
• 冷却水：1.5 L/min