等离子体诊断

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通用减速场离子能量分析仪（RFEA）

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通用减速场离子能量分析仪（RFEA）

型号：RFEA-GE

该系统包括减速场离子能量分析（RFEA）、腔室整体连接装置和控制单元及软件。RFEA探测器安装于一个电极底座上，方便的置于腔室中的任意位置，可在电容耦合、电感耦合、ECR、DC、微波和远程源等。控制单元可提供所有需要的栅极偏压，软件可自动扫描和控制测量。
法拉第杯

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法拉第杯

型号：MY-FC01

MY-FC01是一种用于测量带电粒子（如离子、电子）的经典探测器，广泛应用于等离子体物理、质谱分析、粒子加速器及空间探测等领域。
在线射频VI探测器

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在线射频VI探测器

型号：MY-VI-S

MY12 型射频 VI 功率计是一款先进的实时监测射频电源信号的电压、电流、功率、反射和阻抗等参数的仪器，具有极高的精度和多种功能。可用于射频电源和自动匹配器及等离子体的相关测试。射频 VI 功率计配备 L29 的接口，并可以转接多重不同形式的接口。
Mini减速场离子能量分析仪（RFEA）

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Mini减速场离子能量分析仪（RFEA）

型号：RFEA-Mini

该系统包括减速场离子能量分析（RFEA）、腔室整体连接装置和控制单元及软件。RFEA探测器安装于一个电极底座上，方便的置于腔室中的任意位置，可在电容耦合、电感耦合、ECR、DC、微波和远程源等。控制单元可提供所有需要的栅极偏压，软件可自动扫描和控制测量。
马赫探针

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马赫探针

型号：MY-MP

马赫探针探针是等离子体测量中最基础最广泛的诊断设备。探针系统的主要功能是测量等离子体流速。MY-MP马赫探针诊断精度高，针对不同的等离子体环境，该探针可根据客户需求做特殊的定制。MY-MP马赫探针主要包括探针系统，数据采集及处理模块以及电源系统。
三探针

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三探针

型号：MY-TP

三探针是等离子体测量中最基础最广泛的诊断设备。该探针系统的主要功能是诊断等离子体的离子密度、电子温度等参数。MY-TP三探针诊断精度高，针对不同的等离子体环境，该三探针可根据客户需求做特殊的定制。MY-TP三探针系统主要包括探针系统，数据采集及处理模块以及电源系统。
双探针

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双探针

型号：MY-DP

双探针是等离子体测量中最基础最广泛的诊断设备。探针系统的主要功能是诊断等离子体的离子密度、电子温度等参数。MY-DP双探针诊断精度高，针对不同的等离子体环境，该双探针可根据客户需求做特殊的定制。MY-DP双探针系统主要包括探针系统，数据采集及处理模块以及电源系统。
单探针

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单探针

型号：MY-SP

单探针是等离子体测量中最基础最广泛的诊断设备。探针系统的主要功能是诊断等离子体的离子密度、电子温度等参数。MY-SP单探针诊断精度高，针对不同的等离子体环境，该单探针测量系统可根据客户需求做特殊的定制。MY-SP单探针系统主要包括探针系统，数据采集及处理模块以及电源系统。

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通用减速场离子能量分析仪（RFEA）

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法拉第杯

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在线射频VI探测器

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Mini减速场离子能量分析仪（RFEA）

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马赫探针

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三探针

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双探针

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单探针

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