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等离子体诊断

朗缪尔探针、双探针、三探针、马赫探针、大气压朗缪尔探针、阻止能量分析仪、OES、V-I sensor

通用减速场离子能量分析仪（RFEA）

RFEA-GE
等离子体诊断
该系统包括减速场离子能量分析（RFEA）、腔室整体连接装置和控制单元及软件。RFEA探测器安装于一个电极底座上，方便的置于腔室中的任意位置，可在电容耦合、电感耦合、ECR、DC、微波和远程源等。控制单元可提供所有需要的栅极偏压，软件可自动扫描和控制测量。
2025-07-01 04:51
文档手册
RFEA-GE-1.png

产品详情

关键技术指标

  • 离子能量范围：0 - 2000eV max（根据需求配置）
  • 离子流量：0.001 - 10mA/cm² 
  • 时间分辨频率范围：10kHz to 1MHz
  • 离子能量分布函数（IEDF）分辨率：+/- 1eV nominal 
  • 电流范围：10uA to 10mA
  • 通讯方式：以太网