产品概述 

能量阻滞分析仪（Retarding Field Energy Analyzer, RFEA）是等离子体诊断与离子束表征的核心设备，通过施加可调的减速电场对离子进行能量筛选，直接获得离子能量分布函数（Ion Energy Distribution Function, IEDF）。该设备广泛应用于半导体刻蚀、薄膜沉积、电推进羽流诊断、磁控溅射及等离子体材料处理等工艺环节，为工艺优化与机理研究提供关键的离子能量参数。

特性与优势 

• 高集成度：即插即用的便携式设计，全系统完美整合于单个标准 3U 机箱，部署便捷高效。 

• 高分辨率：搭载精密加工的栅网系统，兼具高透过率与高离子能量分辨率，确保数据精准。 

• 宽测量域：标准量程覆盖 0-2000 eV，并支持按需定制扩展至最高 4000 eV，灵活适配多样化测试需求。

• 全自动化：支持一键完成栅网偏置电压扫描、离子电流测量及能量分布分析，大幅降低操作门槛并提升测试效率。