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辅助镀膜离子源

MY-RF160

MY-RF160
辅助镀膜离子源
辅助镀膜离子源凭借其高精度、可控性和环保性，已成为现代半导体工业不可替代的核心技术。MY-RF160等离子体源采用先进的磁耦合技术，离子束能量可连续调节。
2025-07-01 08:29
文档手册
MY-PS17.png

产品详情

关键技术指标

  • 离子束能量：0-1keV连续可调
  • 射频电源：13.56MHz/0-1.5kW
  • 束流强度：≥400mA
  • 束流形状：发散
  • 中和方式：射频中和器
  • 气体类型：任意气体
  • 电离效率：≥5%
  • 安装方式：内安装或外安装