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辅助镀膜射频离子源

MY-RF160

MY-RF160
辅助镀膜射频离子源
2025-07-01 08:29
产品技术文档
MY-PS17.png

产品详情

关键技术指标

  • 离子束能量：0-1keV连续可调
  • 射频电源：13.56MHz/0-1.5kW
  • 束流强度：≥400mA
  • 束流形状：发散
  • 中和方式：射频中和器
  • 气体类型：任意气体
  • 电离效率：≥5%
  • 安装方式：内安装或外安装