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离子源配件

离子束抛光源钼栅网

IBF-Mo_grid
离子源配件
在离子束抛光源中,栅网的作用为引出离子束,其中高纯钼材质的栅网因耐离子束溅射而受到广泛应用。公司IBF系列离子束抛光源钼栅网由雅士达数控车床加工成型毛坯,再由尼古拉斯五轴加工中心打向心孔而成,具有精度高,耐腐蚀等优点。目前,公司研制的IBF-Mo_grid系列型号(10mm/20mm/40mm)钼栅网可直接用于IOT等国外品牌的离子束抛光源。此外,公司可根据客户的定制化需求进行抛光源栅网的束流光学模拟仿真和详细的机械设计,提供离子束栅网的全套服务。
2025-10-13 06:54
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产品详情

详细技术指标:

 

材料纯度 ≥99.97% 钼(Mo)
晶粒尺寸 ≤10 μm
密度 ≥10.2 g/cm³
栅网厚度 0.4mm
孔径大小 0.5—2.0 mm(多级栅网需分层设计)
开孔率 ≥60%
平面度 ≤0.01 mm/m²
工作温度范围 1200—1800°C(长期稳定)
热膨胀系数 5.2×10-6/°C(20~1000°C)
热导率 ≥138 W/(m·K)(@25°C)
抗拉强度 ≥500 MPa
显微硬度 200—250 HV(维氏硬度)
抗热震性 承受≥100次 室温↔1500°C循环
电子逸出功 4.2—4.6 eV