产品概述 

MY-FC30 法拉第杯用于精密束流诊断，该系列法拉第杯适用于离子束及电子束测量：包括束 
流强度、束流剖面扫描、束流监测以及束流光路对准与工艺参数设定。硬件采用模块化系统，并具 
备超高真空兼容能力，支持多种标准接口选配，满足苛刻环境下的高精度束流测量需求。

特性与优势 

• 高精度测量：测量精度高，直接收集全部电荷，无二次电子逃逸，电流测量准确可靠。 

• 宽动态范围：从 pA 到 mA 级电流均可测量，适应不同束流强度。 

• 兼容性强：全金属/陶瓷结构，UHV 兼容，无放气问题。 

• 安装灵活：多种安装接口（BNC、CF 法兰），适配不同真空系统。