光学发射光谱的基本原理为处于高能级的原子或分子在向较低能级跃迁时会释放特定波长或波段的光，通过光谱分析可进行物质化学元素的构成及物质成分的检测及分析。本产品针对弱光检测领域进行优化设计，采用消杂散光、非球面光学、双闪耀光栅、渐变滤光片等技术，具有高光通量、高光谱分辨、高信噪比等优点。本产品可应用于透射率/反射率/吸光度测试、生物细胞分析、激光光谱检测、等离子体监测、刻蚀终点检测、薄膜厚度测量等领域。

关键技术指标