关键技术指标

• 电源频率：13.56MHz（自动匹配）
• 功率：0 — 600W
• 气体：几乎所有工艺气体
• 气压： 0.5 Pa to 1500 Pa
• 冷却方式：水冷
• 源体形状：圆形
• 阴极材料：不锈钢、铝、钨、钼等可选
• 安装方式：CF100标准法兰
• 低氧污染（无介电窗口）
• 高电子密度 — 与电感耦合等离子体源相似
• 高均匀性 — 与电容耦合等离子体源相似
• 等离子体损伤小
• 提供定制解决方案