四川墨塬科技突破等离子体诊断“探针矩阵”技术 五款核心产品同步问世

四川墨塬科技有限公司今日正式对外宣布，公司自主研发的等离子体单探针MY-SProbe、双探针MY-DProbe、三探针MY-TProbe、马赫探针MY-MProbe及阵列探针MY-AProbe五款核心产品已完成全部工程验证，并进入量产交付阶段。

这标志着我国在等离子体诊断领域，首次构建起从基础参数采集到复杂流场矢量分析的全场景探针产品矩阵，攻克了强干扰、高密度等离子体环境下多物理量同步解耦的技术壁垒。

 从“单点感知”到“矢量成像”

在核聚变装置、空间电推进、半导体刻蚀及材料表面改性等尖端应用中，等离子体参数的空间分布与瞬态演化直接影响工艺成败。然而，传统诊断工具长期面临“测不准、分不开、来不及”的困境——单一探针难以区分电子温度、密度与空间电势的耦合变化，而进口多探针系统又受限于数据同步性与耐热冲蚀寿命。

墨塬科技总工程师在发布会上介绍，此次推出的五款探针并非简单数量叠加，而是基于统一的“智能前端+数字孪生校准”架构重新设计：

· MY-SProbe（单探针）：采用复合针尖与同轴屏蔽结构，在1eV至100eV电子温度范围内实现μs级响应，信噪比较进口同类产品提升40%，适用于快速基线测量。

· MY-DProbe（双探针）：首创差分浮动回路设计，可在射频偏压干扰下自动补偿鞘层膨胀效应，首次在工业级感性耦合等离子体源中实现电子密度与温度的实时解耦输出。该探针同时可以测量大气压环境下的等离子体参数。

· MY-TProbe（三探针）：集成三电极时空调制技术，无需扫描电压即可毫秒级输出EEDF（电子能量分布函数），特别适用于脉冲等离子体瞬态诊断，填补国内该领域商用产品空白。

· MY-MProbe（马赫探针）：针对磁约束与电推进等离子体中的定向流速度测量，采用双收集极不对称布局结合矢量反演算法，可同时获取离子流马赫数与径向电场梯度，为霍尔推力器羽流分析提供关键数据。

· MY-AProbe（阵列探针）：作为矩阵核心，支持探针单元扩展组合，每个探针单元均内置微型化隔离放大模块，配合时空同步触发网络，可实现等离子体边界层二维动态成像，空间分辨率优于2mm。

国产替代背后的“极限挑战”

“最难的不是做出一个探针，而是让探针在等离子体环境中互不干扰、数据同源。”墨塬科技研发总监透露，团队耗时6个月攻克了多探针间的电磁串扰抑制、高温耐辐照封装以及基于FPGA的并行采集同步算法。尤其在阵列探针中，每通道的延时抖动被控制在±5ns以内，达到国际同类顶尖水平。

据悉，上述产品已在国防科技大学、航天工程大学、航天6院等单位的电推进试验平台以及多家头部半导体设备企业产线上完成逾2000小时实机测试。

从“仪器”到“生态”

墨塬科技CEO表示，公司不满足于提供硬件，正同步构建“探针-采集卡-等离子体数字模型”的软硬一体平台。预计今年第四季度将推出配套的在线标定云服务与AI辅助异常诊断算法，帮助客户将数据解析时间从小时级压缩至分钟级。

“等离子体诊断是‘工业之眼’。我们的目标不仅是替代进口，更是让中国工程师拥有定义等离子体诊断标准的能力。”他透露，核心部件国产化率100%，成本较国际竞品降低30%-50%，首批订单将交付国内5家研究机构和两家卫星推进企业。

四川墨塬科技有限公司是一家专注于等离子体诊断技术与高端真空测量仪器研发、生产与销售的高新技术企业。公司致力于为我国科研院所和工业用户提供高性能、高可靠性、高性价比的等离子体诊断解决方案，推动我国等离子体科学技术进步和高端装备制造产业升级。